品牌:UNION
型号:HISOMET系列
产地:日本
非接触式深度测量工具显微镜
日本Union DH2高精度非接触深度测量显微镜
采用光学和非接触方法探测焦距的方法，测量不会给样品造成变形或划痕等影响，这些往往是采用物理性接触测量时产生的。基于目标分光方法原理的精密聚焦指示器的应用，以简单地把两个目标标志部分重合起来进行高精度的测量..
XY Z轴测量精度0.1微米或0.5微米可选.
功能：
非接触测量微细的撞击、台阶等。
◎ 通过高精度的光学聚焦点检测和精确的聚 焦指示器完成高精确的测量
◎ 简单的操作
◎ Z轴测量行程可从几个μm 到10mm
◎ 同时还可以完成测量点的表面观察
观 测 头： 三目
Z轴测量范围： 0.1μm 读数，20mm 行程
Z轴测量精度： 3σ=1μm (40×)
光学镜身： 精确的自动聚焦单元
物 镜： 5× - 100×
测量软体： 4种模式
资料处理软体： 显示最大值，最小值，平均值，标准偏差值等
HISOMET系列工具显微镜为一专业X、Y、Z轴座标测量显微镜，X、Y工作台行程由100*200mm到大行程500*500mm，放大倍数由5至1000×。为求提高工件在Z轴深度/高度测量时的精度，Z轴对焦采用一专利光学“裂像指示器”，结合精密的Z轴“Cross Roller Bearing”导轨，可测范围25 mm，精度高达1μm，配合特殊附件，测量分解度更可达0.5μm或0.1μm.
技术规格
型号：DH II
工作台行程：100*200mm/150*300mm/500*500mm
Z轴测量范围：25mm/25mm/25mm
三轴分解度：0.001mm
Z轴读数装置：ID-F内置数显表/外置数据处理系统
标准目镜：10X
标准物镜：10X
读数系统
DRO200S简易坐标读数器/QC200多功能数据处理器/QC5000测量软件电脑系统
本文有伟达集团整理（测量显微镜）www.wyldar.com
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