韩国KTC EDB-550喷淋头打孔机 半导体行业专用于硅和碳化硅材料
特殊功能：
加工条件和程序管理
实时电极消耗自动补偿
自动处理速度控制 加工速度自动调控
夹具自动检测 ---(选配功能)
宏程序Macro Program ---(选配功能)
CAD/CAM 一体化
盲孔加工
加工断点和指定点自动返回
dwg / dxf / Auto CAM
网络/USB数据输入
电极消耗实时检测、加工时间、预计完成时间显示
自动电极修整功能---(选配功能)
4工位电极导向装置---(选配功能)
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规格参数 |
EDB‑550（适配硅 & 碳化硅 Si&SiC） |
EDB‑640 |
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设备外形尺寸 (mm) |
1656 × 1845 × 2340 |
1510 × 2023 × 2187 |
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X、Y、W、Z 轴行程 |
510 × 510 × 270 × 150 |
600 × 400 × 270 × 250 |
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输入最小设定增量 |
0.001 mm |
0.001 mm |
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闭环系统（选配） |
0.1 μm 光栅尺 |
×（无配置） |
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CNC 数控单元 |
全交流伺服系统（X,Y,Z,W 轴）；支持局域网 LAN、DWG 图纸导入、宏程序；工业 4.0 技术 |
交流伺服；支持局域网 LAN、DWG 图纸导入、宏程序 |
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FA 自动化系统 |
支持 AMR 自主移动机器人对接、自动门 |
—（无配置） |
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机床结构 |
龙门式工作台 |
悬臂式工作台 |
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工作台材质 |
全花岗岩工作台 |
全花岗岩工作台 |
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项目 |
EDB‑550 |
EDB‑640 |
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耐用性 & 精度 |
龙门结构效果图 |
悬臂结构效果图 |
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结构特点 |
・门式结构，独立 Y 轴；移动工作台、X/Z 轴安置于龙门立柱上
・工作台固定后再位移传送，受震动、热变形带来的误差小
・各轴相互独立分离，维护保养便捷 |
・X/Y/Z 全部采用悬臂伸出结构；受温度变化会产生形变；悬臂伸出会发生下垂变形，直接影响垂直度与孔位精度
・抗外部冲击、抗振动性能较差 |
多晶硅刻蚀系统
机械
